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クリーンルーム用カーテン

帯電防止性、防炎性に優れ、クリーンルームの間仕切り、簡易クリーンブースに。
精密機器カバーに最適!

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概要

帯電防止性に優れています。

1.表面固有抵抗 10〜10Ω/□
2.帯電電位及び半減期
  120V以下、1秒以下(kv印加)

電気的性能の湿度依存症が少なくなってます

市販の帯電防止難ビシート(練り込み品)に比べて、
湿度による帯電防止性能の変化が非常に少なくなっています。

難熱性に優れています。

素材は自己消火性を有しています。消防法第4条の3の規格に適合します。
*各種クリーンルーム用部材(ステンレスハトメ、Sカン、レール、ウェイト等)あります。
(シート厚み:0.3mm、0.5mm)

性能

低アウトガス性能

ウェハー汚染が従来軟質塩シートと比較し1/100低減。
⇒従来塩ビシートが使用できなかった【半導体/液晶】分野へ間仕切りとして使用可能!!

低環境負荷性能

環境負荷の少ないオレフィン系素材を使用しています。
⇒オレフィン素材ですので耐薬品性に非常に優れています!!

仕様

基本性能

項目 単位 試験方法
表面抵抗値 Ω/□ ASTM D 257 1010~1011
帯電圧半減時間 SEC MIL B 81705B 0.8
全光線透過率 JIS K 7105 85
ヘイズ 5-7
引っ張り強度 MPa JIS K 7127 40
引っ張り弾性率 110
引っ張り伸度 1000
引き裂き強さ N JIS K 7128-2 8(縦)、18(横)

耐薬品性

薬品 濃度 滴下による外観変化 浸漬による外観変化
塩酸 20%
硫酸 20%
水酸化ナトリウム 30%
アンモニア水 25%
100%
エチルアルコール 100%
メチルアルコール 100%
トルエン 100%
酢酸エチレン 100%

漬条件 23℃ 2℃ 7日間
○・・・変化無し ×・・・白化、防潤などの影響を受ける。

アウトガス分析
単位:ng
従来品(軟質塩ビ系) 低アウトガス帯電防止シート(ポリオレフィン系)
フェノール類 87 15
無水フタル酸 147 14
フタル酸エステル類 2073 3
燐酸エステル類 1918 -
トータル有機汚染物量 11442 78

* 密閉空間にシートとウェハを放置し、ウェハ表面の付着物を分析
* GC-MSで定性、定量。検出量はC16換算値。

カーテンの条件を入力するだけで簡単お見積もり

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